3M LifeASSURETM PDA滤芯｜电子制程清洗超纯水后置除菌防护工况应用

 

3M LifeASSURE™ PDA滤芯｜电子制程清洗超纯水后置除菌防护工况应用

半导体封装、精密电子元器件制程超纯水后置末端除菌防护工段，严控微量微生物、亚微米浮尘颗粒，规避精密电路微短路、封装界面脏污工艺缺陷，3M LifeASSURETM PDA滤芯适配电子级超纯水低离子析出、高精度、不间断过滤严苛工况。核心超低溶出高纯膜材配方，不含阴离子、阳离子析出杂质，不改变超纯水电阻率核心指标，精准截留外源气溶胶杂菌、管路二次生成微粒，长效保障电子制程用水全域高纯等级。耐超纯水长效不间断冲刷老化，适配无尘车间全年恒温恒湿作业环境，结构尺寸稳定无形变，适配电子厂高精密制程闭环管控标准。原厂防静电无尘真空密封包装，附带电子级低析出专项检测报告，适配无尘车间入库质控核验。无尘车间专用恒温柜体密闭仓储，远离酸碱电子清洗剂、光刻辅剂分区隔离；防静电专用转运车点对点无尘配送，杜绝静电吸附粉尘污染。小型精密快装基座对位合规安装，安装后原位纯水电阻率联动核验。全程低压低湍流合规操作，避免二次微粒生成，实时联动在线水质粒子计数仪监测数据。按电子车间季度维保计划定点批量更换，同步归档无尘车间运维溯源台账。多半导体厂区应用，3M LifeASSURETM PDA滤芯稳固超纯水末端洁净防线，压降精密电子制程不良率。